某半导体行业加工企业主因晶圆擦洗道工序形成含氨生活污水，发电量200吨/天。生活污水底除高锰酸盐指数外还富含氟化物和少量天价属，补救困难大。位置排放口基准要高锰酸盐指数＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废水处理工艺化学成分及的来源 晶圆清洁工作废水处理工艺（主耍来自）：含挥发酚200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀多种工序废液：含微量分析铜、镍等血本属，pH值振幅大 CMP磨细焦化废水：含硅粒子及高锰酸盐指数 处置加工过程方法 利用"无机化学结晶+膜分开+折点氯化"组合式加工过程： 预治理 ：加药CaCl2除氟，把控pH在7.5-8. 超滤膜设计 ：去掉0.01μm上面粒状物 反渗透膜性高浓 ：将化学需氧量溶缩至1000mg/L往上 折点氯化 ：精准把控好氯加药系统量，将氯离子转换为氦气 亚铁离子互转 ：担保血本属合格 终究作用 氟化物动态平衡＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 高价属占比高于探测限 水中水回用率达75% 污泥处理有量变少40%