某半导体技术电子器件营造厂在晶圆生产制作过程中 中,选择硅烷做好硅外延性发育,空气洗衣机清洗塔行成高氨水浓度含硅电镀废水净化处理方式。电镀废水净化处理方式兼备pH震荡大(2-11)、硅含水量高的特殊性,以往净化处理方式易造成硅垢堵塞过困难。
废液组成成分及因素
电镀废水注意化学物质为:
水解性硅酸盐
:SiO₂氧化还原电位达1000-1500mg/L
盐酸/氢被氧化钠
:洗條塔酸性洗條液余留
顆粒硅
:奈米级SiO₂氢氧化铁
痕量砷
:塑料原材料沉渣融入
进行处理技艺操作流程
改革创新分为"二级中合+膜滤出+汽化心得"鑫霖环保:
一个结合
:用CaO缓解pH至4-5,产生硅酸钙悠长岁月中,硅洗去率60%。
二级考试中合
:加Na₂CO₃将pH升降至9,进这一步滤渣所剩硅,电容串联用镁剂除砷。
反渗透膜程序
:0.02μm工业陶瓷膜过滤程序nm级硅粒子,通量不稳在80LMH。
MVR多效冷却器
:萃取高盐化工废水,晶粒出Na₂SO₄副好产品,水中水回用率超90%。
决定效用
总硅从1500mg/L高于5mg/L一下
砷分量从0.8mg/L下降0.01mg/L
程序无结渣运作超过了2年
第二年回报氢氧化钾钠纳米线约800吨