该厂为8屏幕尺寸晶圆生产的线配置的超蒸馏水设计，每天都在带来含硅污水150吨。污水内虽无高价属，但硅量高易积垢，且功率电阻率需达成18MΩ·cm才能够回收。原始外理工学院艺是无法充分考虑新颁布实施的《网上化工水破坏物废气排放口规则》（GB39731-2020）非常废气排放口允许值。 废污水化学物质优势特点 主要污染源物 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、粒子硅（粒级0.1-1μm） 层次性需要 ：TOC<10μg/L，硼水分含量<5μg/L 水源特点 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅氧化物体型繁复 工作制作工艺流程图图 创新技术选择"梯级膜溶合+电去化合物"组成的工艺： 微滤预进行处理 ：1μm瓷质膜屏蔽短信大颗粒物硅，通量维系80LMH 阳离子交易树酯 ：D201大孔树脂胶采用性吸收硅酸原子 五级RO操作系统 ：一号段回报率60%，二是段进行高脱硼膜元器件 EDI电去阳离子 ：直流电压容重2A/m²，延续的还原稳定度阴阳离子 红外光谱消毒 ：254nmUV紫外线摄入量40mJ/cm² 高技术突出点 设计专业级阻硅剂（可挥发胺类混合物），延长时间膜环境破坏周期性3倍 EDI组件科学创新流道制定，硅清理率改善至99.8% 在线视频硅深入测试仪（测量方法位置0.1-500μg/L）变现精确保持 工作认真总结 经第三步方检测工具： 总硅从280mg/L降落到0.05mg/L 硼含铁从8μg/L减少为0.3μg/L 模式收集率从原40%加快至68% 膜更改时间段延伸至5年，年作业价格较低35%