某半导厂在加工方式中选用硝酸钠系定影液,产生高渗透压含NOx废水正确加工方法,日正确产水量50吨。废水正确加工方法中含NO2-可高达2000mg/L,且含带氢化物发生器生物碳光刻胶组成成分,正确加工困难程度最大。
2. 废渣含量及特征
显影液工艺技术残液(大部分污染问题源)
晶圆洗废污水
印刷废气洗涤剂塔泄水
3. 正确处理标准流程标准流程
应用"最高级氧化物+多级生物学外理"研发工序:
老化钝化
:能够嗅氧会检测器存在O3,将难挥发生产物转化为小碳原子物质,此外将NO2-腐蚀为NO3-。
生物工程膜想法器(MBR)
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独一级:乏氧坏境下污泥脱水甲醇最为碳源,有利于促进反硝化化学反应化学反应
第十二级:好氧怪物膜进1步分解有机酸物
光电催化式宽度解决
:选用钛基耐磨涂层探针,在电解法影响恢复转化的残留物污染源物。
4. 进而效率
NOx总氮降落到8mg/L之下
COD安全在30mg/L范围之内
生产废水中水回用率达60%
把握系统运转热耗把握在3.5kWh/吨水,较传统艺术工艺设计发展节能环保20%。