半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
工程项目经验
该各个各个企业主为国际最前沿的半导体技术测封各个各个企业主,在珠三边形的地区,最主要进行中高端存储芯片的片区和封口测量。随着偏远地区生态环保必须从紧,各个各个企业主关键执行污水零释放投资加盟项目。投资加盟项目于22年打火,2025年6月完工投入运营,加工处理经营规模为200吨/日,总投资加盟约2000万余元。
电镀废水组分及来源于
这项原因片区废污水享有以下的显著特点:
高质量溶液浓度氟化物,最主要位于晶圆割切后的进行维护清洁工艺流程,氟铁离子质量溶液浓度万代高达150-200mg/L
有效纳米技术级硅粉颗料,粒度多在100-500nm之間
可挥发工况较高,COD在500-800mg/L
有轻微血本属如铅、镉等
电阻率高,常见在2000-3000μS/cm
治理 生产流程图流程图
为实现了零进行排放梦想,施工工艺定制特别思考废污水几大类搜集和物资收集:
废液归类提取系统软件
:将含氟生活污水与同一生活污水分手整理
化工水解除氟
:选用两极钙盐放置法,听取优质放置池
层级氧化的工作
:三氧促使阳极氧化降解塑料难解决有机肥料物
膜提液软件系统
:选择DTRO碟管式ro反渗透性,浓缩咖啡3的倍数为10倍
化掉成果
:MVR机制水蒸汽再进行压缩多效冷凝器治理浓水
干澡控制系统
:将心得盐缺水后是工业企业副新产品外售
加工效率
体统加载数据源表明:
氟化物彻底清除率>99.9%,溢水氟化合物<1mg/L
COD总祛除率>98%,喷水COD<20mg/L
饮水机的回收并率>95%,仅产生一少部分成果盐
第一年可回收垃圾并高产品质量回收利用水约2万吨
析出盐色度以达到工业化级要求,完成的无害化回收利用
产品不禁构建了废气无废气排放口,还能够 物资收旧创立了约80来万/年的额外的效率。