半导体晶圆划片废水处理案例|半导体晶圆划片废水处理方法
工程游戏 背景
本次目坐落于长江三角洲型地域某部委级半导体材料加工业四园,各个企业主要分娩8寸大和12寸大晶圆,东风日产量达到了2万片。如今扩产上升,改变的工业废曝气生物滤池体系已没有无法环境保护规范,现需更新升级改变。产品总投资加盟约1300万元,构思处理作用为300吨/日,于202半年竣工投入使用。
废水处理材料及因素
该中小型企业晶圆小学划片制作工艺带来的污水一般带有以上因素:
裁切环节中选择的机磨液残存物,具体化学成分为二氧化反应硅顆粒、外表抗逆性剂和有机化学更改剂
晶圆表面上的洗涤引起的含氟生产废水,氟铁离子密度在80-120mg/L
一点巨资属阳离子如铜、镍等,种类于水刀切割方式磨损情况
生产石油醚留下,涉及到异丙醇、甲苯等
pH值下降过大,一般来说在4-10间
外理加工程序
采取废污水性能指标,构思用"物理化学预办理+生化学办理+淬硬层办理"的三人组合艺:
调结池
:匀衡水源蓄水量,使用pH网上检测和手动投加药剂装置
沥青混凝土放置
:污泥脱水PAC和PAM,弄掉浮动物和胶体溶液物料
气浮标段
:选择溶气气浮流程进一点取除的细小颗粒状和部份有机的物
生物化学治理
:按照MBR膜动物症状器,厌氧颗粒污泥溶度提升在8000-10000mg/L
的深度治疗
:活力性炭吸咐+反融于流程,提高认识满水后合格
污泥干化处理
:板框带式压滤机脱水器,飞灰含水分率降到60%左右
除理成效
系统化稳定性运动后,喷水水的质量压根提高《手机化工水影响物进行废气排放规范》(GB39731-2020)非常进行废气排放规定值规范:
COD<30mg/L
氟正离子<5mg/L
浮动物<10mg/L
高价属四项评价指标均少于允许值
項目年年可变少污染源物排放标准量约COD 32吨、氟化物8.5吨,回收水率完成75%上面,为中小型企业节省了水电费拨出约130万元/年。